產品時間:2024-06-02
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日立紫外清洗設備是利用紫外光和臭氧對樣品表麵汙染物進行清理的前處理設備,主要針對樣品表麵的有機汙染物,相比等離子清洗更加溫和,對樣品損傷小。
清洗係統:
2種清洗模式
真空清洗和真空儲存
清洗時間範圍為1min-24h(步幅1min)
真空係統:
無油真空係統(隔膜泵9L/min)
3min內達到所需真空度
真空範圍為100-500torr(100步)
清洗倉:
樣品尺寸: 100mm (直徑) x 36mm (高)
適合於各型號掃描電鏡
有效清理區域達100 mm