德國普發Pfeiffer 新款高性能耐固氦質譜檢漏儀ASM 340，其可靠的質量提供了廣泛的市場應用，此款氦質譜檢漏儀適用於工業、分析、研究、鍍膜、航天等。
氦質譜檢漏儀ASM340是Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 HLT 560與ADIXEN ASM142 的升級款。
結合二者產品的優勢技術，保持穩定、耐衝擊的特點，並從容地增加抽氣能力，
在絲毫不增加外部尺寸與重量的情況下，極大地發揮設備的能力。
更大的抽速，更快的響應時間，更穩定的檢測響應，為客戶省錢、*。
同係列無油幹式氦質譜檢漏儀 ASM 340 D （前級泵配備無油幹泵）同步

德國普發氦質譜檢漏儀

型號：ASM340

德國普發 Pfeiffer 新款高性能氦質譜檢漏儀 ASM 340，前級泵可選油泵或幹泵.此款氦質譜檢漏儀是

Pfeiffer HLT 560 550 570 Adixen ASM 142 升級款，入口端壓力達到 100 hPa 即可檢漏，整機保

證歐洲*。

氦質譜檢漏儀 ASM 340 適用於工業、分析研究、鍍膜市場等。此款氦質譜檢漏儀堅固耐用，抗破大氣、

抗震性能*，有效降低由操作失誤帶來的風險性。可反複使用數年仍高精度的檢漏漏率。氦質譜檢

漏儀 ASM 340 緊湊的設計適合串列生產和持續工作。同係列無油幹式氦質譜檢漏儀 ASM 340 D （前級

泵配備無油幹泵）同步

氦質譜檢漏儀 ASM 340 優點

1.前級泵配備旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高達 15 m3/h

2.分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s

3.氦質譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的小檢測漏率：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸模式：5E-10 Pa m3/s 目前業界*小漏律

4.移動式操作麵板（有線、無線）

5.集成 SD 卡，方便資料處理

6.抗破大氣、抗震動，降低由操作失誤帶來的風險性

7.豐富的可選配件，如吸、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

8.檢測時間短

氦質譜檢漏儀 ASM 340 與友廠同級別相比，前級泵抽速和分子泵對氦氣的抽速更大，目前業內*大

的進氣口壓力 25 hPa，有效減少檢測時間。目前市場上一款在 100 hPa 即可進行大漏測試的氦質譜

檢漏儀。

氦質譜檢漏儀 ASM 340 由德國 Pfeiffer 設計和製造，其配備的 Pfeiffer 分流式 分子泵廣泛應用

於友廠，如英福康 Inficon UL1000 檢漏儀、愛發科 Ulvac Heliot 檢漏儀、布魯克 Bruke 醫療設備、

島津 Shimadzu 分析儀器等。

氦質譜檢漏儀 ASM 340 技術參數：

型號 ASM 340 ASM 340 D ASM 340 I

對氦氣的小檢測漏率5E-13 Pa m3/s 5E-13 Pa m3/s 5E-13 Pa m3/s

檢測模式 真空模式和吸模式真空模式和吸模式真空模式和吸模式

檢測氣體 4He, 3He, H2 4He, 3He, H2 4He, 3He, H2

啟動時間 min 3 3 3

對氦氣的抽氣速度 l/s 2.5 2.5 2.5

進氣口大壓力 hPa 25 25 5

前級泵抽速 m3/h 油泵 15 隔膜泵 3.4 不含前級泵

重量 kg 56 45 32